蚀刻将形成在晶圆表面上的薄膜全部，或特定处所去除至必要厚度的制程。蚀刻分为干蚀刻和湿蚀刻。蚀刻对象依薄膜种类可分为:poly,oxide,metal。
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云林蚀刻工艺LOGO的生产步骤：
1.首选是工程制图，把Logo的图纸确认下来。
2.接着是准备原材料，准备完毕后，进行原材料前处理，也就是把原材料给清洗干净。
3.是给清洗干净的材料压合贴膜，为下一步的曝光做准备。
4.曝光的原理是将需要金属蚀刻的图形通过光绘的方式转移至两张完全一致的胶片菲林上，然后通过人工对位或机器对位方式将菲林对准，再将已涂好感光干膜的钢片至于菲林中间，吸气后即可曝光。【曝光时对应菲林黑色处的钢片未被感光，对应菲林白色处的钢片感光】钢片感光处的油墨或干膜发生聚合反应。
5.接下来就是显影工序，曝光后的钢片经过显影机，钢片上被感光的油墨或干膜不被显影液溶化，而未感光的油墨或干膜在显影液被溶化去除，这样需要蚀刻的Logo图案通过显影就转移到钢片上去了。
6.显影出来的产品，要再经过一道烘烤的工序，目的是为了保证不干胶与金属板的充分粘合，避免贴膜脱落。
7.Logo干燥出来后，可以直接进行蚀刻，利用化学药水溶液起到腐蚀的作用，在材料上形成凹凸半刻的效果，Logo的图案就会显现出来。
8.最后，再进行脱模，将产品上的感光膜给剥离掉，把产品烘干。Logo就这么蚀刻出来了。
蚀刻工艺化学反应过程中所产生的气泡常会造成蚀刻的不均匀性，气泡留滞于基材上阻止了蚀刻溶液与待蚀刻物表面的接触，将使得蚀刻速率变慢或停滞，直到气泡离开基材表面。因此在这种情况下会在溶液中加入一些催化剂增进蚀刻溶液与待蚀刻物表面的接触，并在蚀刻过程中予于搅动以加速气泡的脱离。
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